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SuperViewW1白光干涉測量儀系統具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
性能特點
【3D測量,一覽無余】
采用白光干涉技術,結合具有抗噪性能的3D重建算法,真實還原樣品的每一個細節,隨意翻轉縮放,助您輕松觀察、測量樣品的任意特征。
【功能強大,參數齊全】
粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括,距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋,有依據ISO|ASME|EUR|GBT四大國內外標準的300余種特征參數。
【操作便捷,簡單明了】
直觀的操作界面,操作流程一目了然,自動聚焦,一鍵實現測量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的分析功能,有一鍵分析功能。
【高重復精度,穩定可靠】
采用了掃描模塊和內部抗振設計,可實現高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性。
【兩種型號,量身定制】
W1系列白光干涉儀提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機型,另可針對不同的測量需求,在兩種型號間選取不同配置進行組合。
【廣泛應用,貼心服務】
可測2D/3D輪廓、粗糙度,300余種特征參數……光學3D表面輪廓儀在半導體、精密加工及微納材料等領域可得到廣泛應用,光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑……
SuperViewW1白光干涉測量儀系統分辨率0.1μm,重復性0.1%,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。